(1)基本材料研究进展,如硅晶圆片、化合物半导体
(2)制造材料研究进展,如电子特气、溅射靶材、光刻胶、抛光材料、掩膜版、湿电子化学品
(3)先进封装材料研究进展
孙蓉 深圳先进电子材料国际创新研究院
张锁江 中国科学院过程工程研究所
俞文杰 上海集成电路材料研究院
深圳先进电子材料国际创新研究院
中国科学院过程工程研究所
深圳市半导体与集成电路产业联盟
Industrial
Chemistry & Materials期刊
粤港澳大湾区先进电子材料技术创新联盟
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彭斐 深圳先进电子材料国际创新研究院
18620305379
fei.peng@siat.ac.cn