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FC01-集成电路材料创新发展论坛 (Forum on Innovative Development of IC Materials Industry)

(1)基本材料研究进展,如硅晶圆片、化合物半导体

(2)制造材料研究进展,如电子特气、溅射靶材、光刻胶、抛光材料、掩膜版、湿电子化学品

(3)先进封装材料研究进展

(4)电子器件失效研究

孙蓉              深圳先进电子材料国际创新研究院

张锁江          中国科学院过程工程研究所

俞文杰          上海集成电路材料研究院


深圳先进电子材料国际创新研究院

中国科学院过程工程研究所

上海集成电路材料研究院

深圳市半导体与集成电路产业联盟

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彭斐              深圳先进电子材料国际创新研究院

18620305379

fei.peng@siat.ac.cn